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Products Lineup 製品紹介

アクアサイエンスの製品は洗浄機能が向上し、ユーザーの生産コストと環境負荷を大幅に減少します。

蒸気洗浄装置

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トリトン

蒸気洗浄装置「triton」の特徴

対象アプリケーション
エッチング後のポリマ除去
ウエハ上の異物除去(ブラシスクラバの置換え)
コスト低減
高価なアミン系剥離剤不要のため、コストを大幅に
低減できます
工程数削減
ポリマとレジストを同時に除去できるので薬液洗浄
工程を省くことができます
環境負荷低減
原料は「超純水」
化学薬品の使用量を大幅に低減できます

基本構成
金属汚染のない蒸気発生装置
単式蒸気噴射音速ノズル
アルキメデス制御方式
EFEM(搬送系)
制御系
ガス・水流量制御系
排気・排水系(汽水分離機)
標準仕様
チャンバ数: 2チャンバ
ウエハ口径: 150,200mm対応
カセット数: 2カセット
用 力: DIW、N₂、CDA
蒸気圧力制御範囲: 0.05 - 0.2MPa
本体外形寸法: 1100(W)×1800(D)×2000(H)

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triton-PV トリトン・PV

蒸気洗浄装置「triton-PV,LED」の特徴

対象アプリケーション
レジスト・ペースト除去
コスト低減・コンパクト設計
高価な薬液を必要としないため、コスト低減に繋がります
コンパクトな設置面積(本体)を実現
超高速処理能力
連続処理で500枚/時以上の処理能力
環境負荷低減
原料は「超純水」
 

基本構成
蒸気発生装置
多連式蒸気噴射音速ノズル
エアーナイフ・温風乾燥
搬送系(マグネットローラー方式)
制御系
ガス・水流量制御系
排気・排水系
標準仕様
基板サイズ:126 - 156mm角対応
用 力: DIW、N₂、CDA
蒸気圧力制御範囲: 0.05 - 0.2MPa
本体外形寸法:2200(W)×850(D)×1500(H)
 
 
 

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トリトン

オゾン水洗浄装置「Aurora」の特徴

対象アプリケーション
金リフトオフ
レジスト剥離
WAX・オイル除去
コスト低減・コンパクト設計
高価な薬液を必要としないため、コスト低減に繋がります
コンパクトな設置面積(本体)を実現
金回収率向上
金リフトオフ工程で95%以上の回収率でコスト低減
環境負荷低減
原料は「超純水」
化学薬品の使用量を極力低減
 

基本構成
蒸気発生装置
多連式蒸気噴射音速ノズル
EFEM(搬送系)
制御系
ガス・水流量制御系
排気・排水系
標準仕様
ウエハ口径: 50 - 150mmΦ
用 力: DIW、N₂、CDA
蒸気圧力制御範囲: 0.05 - 0.2MPa
本体外形寸法: 1200(W)×1500(D)×2200(H)
 
 

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オゾン水洗浄装置

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トリトン

オゾン水洗浄装置「Aurora」の特徴

対象アプリケーション
イオン注入後のレジスト剥離
剥離性能
残渣なしで剥離できます
下地膜(Si、SiO₂ など)を膜べりなしで剥離できます
コスト低減
硫酸過水、アンモニア過水等の薬液洗浄工程をなくす
ことで、ランニングコストおよび工程数を削除できます
速い除去レート(2 ~ 4μm/min)により高いスループット
が達成できます
工程数削減
レジスト剥離後の薬液洗浄工程を削減することが可能
設置面積削減
薬液洗浄工程をなくすことでウエットベンチの設置面積
を削減できます
 

基本構成
高温・高濃度オゾン水発生装置
流体制御ノズル(高速置換え)
ウエハ裏面洗浄方式
搬送系
制御系
ガス・オゾン水流量制御系
排気・排水系
標準仕様
チャンバ数: 2チャンバ
ウエハ口径: 150,200,300mm対応
カセット数: 2カセット
用 力: DIW、N₂、O₂、CO₂、CDA
本体外形寸法: 1100(W)×2050(D)×2000(H)
 
 

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