Press メディア掲載情報

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技術文献



特 許


◆登録番号 第4799807 「対象物処理装置および対象物処理方法」        加圧温水、混合液による剥離・洗浄・加工装置

◆登録番号 第4413266 「対象物処理装置および対象物洗浄システム」      水蒸気を利用したキャビテーションによる洗浄システム






新 聞


     
  2003年12月3日 日本経済新聞掲載   2008年11月28日 半導体産業新聞掲載   2008年1月21日 日刊工業新聞掲載
     
  2008年11月26日半導体産業新聞掲載   2009年7月30日 日経産業新聞掲載   2011年4月25日 日経産業新聞掲載



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