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Products Lineup 제품 정보

아쿠아사이언스의 제품은 세정기능을 향상시키고, 사용자의 생산비용과 환경부하를 대폭 감소시킵니다.

증기세정장치

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토리톤

증기세정장치「triton」의 특징

대상 적용
에칭(부식동판화)후의 폴리머(고분자화합)제거
웨이퍼상의 이물절제거
비용절감
고가인 아민계 유기용제를 필요로하지않기 위해,
비용삭감으로이어집니다.
공정수삭감
폴리머와 레지스트를 동시에 제거할
수 있으므로 물약세정공정을 생략 가능
환경부하절감
원료는「초순수」
화학약품의 사용량을 급격히 절감

기본구성
금속오염이없는 증기발생장치
단식증기분사음속 노즐
아르키메데스제어방식
EFEM(반송계)
제어계
가스・수류량제어계
배기・배수계(기수분리기능)
표준사양
챔버수: 2챔버
웨이퍼구경: 150,200mm대응
카세트수: 2카세트
용력: DIW、N₂、CDA
증기압력제어범위 : 0.05 - 0.2MPa
본체외형치수: 1100(W)×1800(D)×2000(H)

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triton-PV 토리톤・PV

증기세정장치「triton-PV,LED」의 특징

대상 적용
레지스트·페이스트 제거
비용절감・콤팩트설계
비싼 약품을 필요로하지 않기 때문에 비
용 절감으로 이어집니다
컴팩트한 설치 면적 (본체)를 실현
초고속처리능력
연결처리에서 500장/시이상의 처리능력
환경부하절감
원료는 「초순수」


기본구성
증기발생장치
다연식 증기분사 음속 노즐
에어나이프・온풍건조
반송계(자기력롤러방식)
제어계
가스・수류량제어계
배기・배수계
표준사양
기판사이즈: 126 - 156mm각대응
용력: DIW、N₂、CDA
증기압력제어범위 : 0.05 - 0.2MPa
본체외형수치: 2200(W)×850(D)×1500(H)
 
 
 

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오로라

오존수세정장치「Aurora」 의특징

대상 적용
금 Lift off
레지스트 박리
WAX・Oil제거
비용절감・콤팩트설계
비싼 약품을 필요로하지 않기 때문
에 비용 절감으로 이어집니다
컴팩트한 설치 면적 (본체)를 실현
금 회수율 향상
금 Lift off공정에서 95 % 이상의 회수 율로 비용 절감
환경부하절감
원료는「초순수」
화학약품의 사용량을 최대한 감소
 

기본구성
증기발생장치
다연식 증기분사 음속 노즐
EFEM(반송계)
제어계
가스・수류량제어계
배기・배수계
표준사양
웨이퍼구경: 50 - 150mm대응
용력: DIW、N₂、CDA
증기압력제어범위 : 0.05 - 0.2MPa
본체외형수치: 1200(W)×1500(D)×2200(H)
 
 

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오존수세정장치

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오로라

오존수세정장치「Aurora」 의특징

대상 적용
이온주입후의 레지스트박리
에칭후의 레지스트박리
비용절감
약품 세정 공정을 제거함으로써 운영 비용 절감
빠른 제거 rate(2∼4μm/min)에 의해고처리가 가능
공정수삭감
레지스트박리후의 약물세정공정을 삭감하는 것이 가능
환경부하절감
원료는 산소와 물
 

기본구성
고온・고농도오존수발생장치
유체제어노즐
웨이퍼뒷면세정방식
반송계(고속 대체)
제어계
가스 ・수류량제어계
배기・배수계
표준사양
챔버수: 2챔버
웨이퍼구경: 150,200,300mm대응
카셋트수: 2카셋트
용력: DIW、N₂、O₂、CO₂、CDA
본체외형수치: 1100(W)×2050(D)×2000(H)
 
 

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