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Products Lineup 製品紹介

アクアサイエンスの製品は洗浄機能が向上し、ユーザーの生産コストと環境負荷を大幅に減少します。

蒸気洗浄装置

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トリトン

蒸気洗浄装置「triton」の特徴

應用目標
蝕刻聚合物去除
晶片上的異物去除
降低成本
不需要高價的胺系有機溶劑,
維繫著成本的降低
製程步驟的減少
因能同時去除聚合物及光阻,
而能省去藥液洗淨工程
環境負荷的降低
原料是「超純水」
大幅減少化學藥品的使用量

基本構成
無金屬汙染的蒸氣發生器
單式音速蒸氣噴頭
阿基米德原理的控制方式
FEEM(搬送區)
控制區
氣體‧水流量控制區
排氣‧排水區 (汽水分離器)
標準規格
Chamber數: 2 Chamber
晶片直徑可對應: 150,200mmΦ
卡夾數: 2卡夾
用 量: 超純水、N₂、CDA
蒸氣壓力控制範圍: 0.05 - 0.2MPa
本體外型的大小: 1100(W)×1800(D)×2000(H)

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triton-PV トリトン・PV

蒸気洗浄装置「triton-PV,LED」の特徴

應用目標
去除光阻・漿糊
降低成本・緊湊的設計
由於不需要高價的藥液,而能降低成本
實現簡潔的設置面積(本體)
超高速的處理效能
可達到500枚/小時以上連續處理的處理能力
環境負荷的降低
原料是「超純水」




基本構成
蒸氣發生器
複合式超音速蒸氣噴頭
氣刀‧溫風乾燥
搬送區 (磁滾輪系統)
控制區
氣體‧水流量控制區
排氣‧排水區
標準規格
晶片尺寸對角線: 126 - 156mm□
用 量: 超純水、N₂、CDA
蒸氣壓力控制範圍: 0.05 - 0.20MPa
本體外型的大小: 2200(W)×850(D)×1500(H)
 
 
 

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triton-PV トリトン・PV

蒸気洗浄装置「triton-PV,LED」の特徴

應用目標
金浮離
去除光阻
去除WAX・OIL
降低成本・緊湊的設計
由於不需要高價的藥液,而能降低成本
實現簡潔的設置面積(本體)
提升金回收率
在金剝離過程中,能達到95%以上的
金回收率,而能降低成本
環境負荷的降低
原料是「超純水」
大幅減少化學藥品的使用量

基本構成
蒸氣發生器
複合式超音速蒸氣噴頭
FEEM(搬送區)
控制區
氣體‧水流量控制區
排氣‧排水區
標準規格
晶片直徑可對應: 50 - 150mmΦ
用 量: DIW、N₂、CDA
蒸氣壓力控制範圍: 0.05 - 0.20MPa
本體外型的大小: 1200(W)×1500(D)×2200(H)
 
 
 

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オゾン水洗浄装置

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トリトン

オゾン水洗浄装置「Aurora」の特徴

應用目標
臭氧注入後的光阻剝離
蝕刻後的光阻剝離
降低成本
因減少藥液洗淨工程而降低運行成本
最快去除rate(2 ~ 4μm/min)可進行高處理
製程步驟的減少
可減少光阻剝離後的藥液清洗工程
環境負荷的降低
原料是「氧氣」和「水」


 

基本構成
高溫‧高濃度的臭氧水生成器
流體控制噴頭(快速更換)
晶片背面清洗方法
搬送區
控制區
氣體‧臭氧水流量控制區
排氣‧排水區
標準規格
Chamber數: 2 Chamber
晶片直徑可對應: 150,200,300mmΦ
卡夾數: 2卡夾
用 量: 超純水、N₂、O₂、CO₂、CDA
本體外型的大小: 1100(W)×2050(D)×2000(H)
 
 

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